Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.643-644
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A Force Calibration of Nanoindentation System by a Silicon Elastic Bending Structure

실리콘 탄성굽힘체를 이용한 나노압입시험기 힘교정 기법 개발

  • 이윤희 (한국표준과학연구원 재료측정표준센터) ;
  • 한준희 (한국표준과학연구원 재료측정표준센터) ;
  • 홍성구 (한국표준과학연구원 재료측정표준센터) ;
  • 허용학 (한국표준과학연구원 재료측정표준센터)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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