Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.641-642
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on ZnO TCO Dry Etching for Thin Film SolarCell

박막 태양전지를 위한 ZnO TCO 건식 식각에 관한 연구

이동길 (한국광기술원 광융합시스템연구센터) ;
심하몽 (전남대학교 광공학협동과정) ;
박영식 (한국광기술원 연구사업본부)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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