Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.631-632
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A Study on Outgassing & AMCs contamination by FOUP running time

FOUP 사용 시간에 따른 Outgassing 및 AMC 오염 연구

  • 구재한 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
  • 이은선 (삼성전자 공정개발팀 NRD 운영그룹) ;
  • 김화영 (삼성전자 공정개발팀 NRD 운영그룹) ;
  • 배순철 (삼성전자 공정개발팀 NRD 운영그룹) ;
  • 송건영 (삼성전자 공정개발팀 NRD 운영그룹)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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