Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
/
Pages.629-630
/
2011
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Flexure mechanism based long range XY scanner for measuring AFM

AFM 측정을 위한 유연 힌지 메커니즘 기반의 대구동 스캔형 시스템 개발

안병운 ((주) 파크시스템스) ;
조상준 ((주) 파크시스템스) ;
안준모 ((주) 파크시스템스) ;
박상일 ((주) 파크시스템스)

Published : 2011.06.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords