Chevron형의 열구동기가 집적화된 대변형 XY-마이크로스테이

Large-displacement XY-microstage driven by chevron-type thermal actuators

  • 최영수 (전남대학교 기계공학과대학원) ;
  • 이동원 (전남대학교 기계시스템공학부)
  • 발행 : 2011.06.01

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