Design of a High Sensitive Vibrating Probe for Micro-CMM

Micro-CMM용 고민감성 진동 프로브의 설계

  • 변정웅 (고려대학교 제어계측공학과) ;
  • 정재화 (고려대학교 제어계측공학과)
  • Published : 2011.06.01

Abstract

Keywords

Acknowledgement

Supported by : 한국연구재단