한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.435-436
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2011
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

대면적 진공용 5축스테이지의 설계 및 보정

Design and Compensation of Wide Area 5-Axis Vacuum Stage

이길영 (애니모션텍) ;
신동혁 (애니모션텍) ;
신승현 (애니모션텍) ;
정재일 (국민대학교) ;
정종규 (국민대학교)

발행 : 2011.06.01

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