한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.27-28
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2011
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

연마패드의 마찰 특성이 구리 연마균일도에 미치는 영향에 관한 연구

Effect of Frictional Phenomena on Cu Removal Characteristics in CMP Process

김형재 (한국생산기술연구원) ;
박영봉 (지앤피테크놀로지) ;
김성렬 (한국생산기술연구원) ;
이상직 (한국생산기술연구원)

발행 : 2011.06.01

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