한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- Pages.79-79
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- 2011
열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구
- 이초은 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 심은희 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 고지현 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 정의완 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이진용 (동국대학교 반도체과학과) ;
- 이영민 (동국대학교 반도체과학과) ;
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김득영
(동국대학교 반도체과학과)
- Lee, Cho-Eun ;
- Sim, Eun-Hui ;
- Go, Ji-Hyeon ;
- Jeong, Ui-Wan ;
- Lee, Jin-Yong ;
- Lee, Yeong-Min ;
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Kim, Deuk-Yeong
- 발행 : 2011.02.09
초록
사파이어 기판에 성장된 ZnO 박막을 급속 열처리 하여 열처리 효과가 박막의 특성에 미치는 영향을 분석하였다. ZnO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터 증착법으로