Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.02a
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- Pages.55-55
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- 2011
Carbon이 첨가된 Ge-doped SbTe 상변화재료의 박막 및 소자 특성
- An, Hyeong-U ;
- Park, Yeong-Uk ;
- O, Cheol ;
- Jang, Gang ;
- Jeong, Jeung-Hyeon ;
- Lee, Su-Yeon ;
- Jeong, Du-Seok ;
- Kim, Dong-Hwan ;
- Jeong, Byeong-Gi
- 안형우 (고려대학교 신소재공학과) ;
- 박영욱 (한국과학기술연구원 전자재료센터) ;
- 오철 (한국과학기술연구원 전자재료센터) ;
- 장강 (한국과학기술연구원 전자재료센터) ;
- 정증현 (한국과학기술연구원 전자재료센터) ;
- 이수연 (한국과학기술연구원 전자재료센터) ;
- 정두석 (한국과학기술연구원 전자재료센터) ;
- 김동환 (고려대학교 신소재공학과) ;
- 정병기 (한국과학기술연구원 전자재료센터)
- Published : 2011.02.09
Abstract
질소 등을 GST225 상변화재료에 첨가시켜 비저항을 증가시킴으로서 PCRAM의 동작 전류를 감소시킨 연구가 선행된 바 있다. 본 연구에서는 GST225와 달리 고속 동작 특성을 갖는 것으로 널리 알려진 Ge-doped SbTe (GeST) 상변화 재료에 Carbon을 첨가하여 박막 특성을 연구하여 동작 전류 감소의 가능성을 타진하였다. 실험을 위한 박막 제작을 위해 2 inch size의 GeST 및 C doped GeST (C-GeST) single target을 이용하여 RF magnetron co-sputtering 하였다. 박막은 carbon이 첨가되지 않은 GeST와 carbon 첨가량이 늘어나는 순서로 C-GeST 1, C-GeST 2, C-GeST 3로 구성된다. 이 때 제작한 박막의 composition analysis를 위해 XRF/RBS/AES가 사용되었고 제작된 박막의 기본적인 특성평가를 위해 resistivity(