한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- Pages.43-43
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- 2010
Etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법 연구
- 노승완 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 송제범 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 김진태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터)
- No, Seung-Wan ;
- Song, Je-Beom ;
- Sin, Jae-Su ;
- Gang, Sang-U ;
- Kim, Jin-Tae ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Yun, Ju-Yeong
- 발행 : 2010.08.18
초록
반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(anodizing), 플라즈마 용사법(plasma spray) 등을 사용하여
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