Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.875-876
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Investigation of modeling is leakage path at the shallow trench isolation device

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

  • 서대만 (삼성전자공과대학교(SSIT) 반도체공학과) ;
  • 박연식 (삼성전자 S.LSI 사업부) ;
  • 상재호 (삼성전자 S.LSI 사업부) ;
  • 최수옥 (삼성전자 S.LSI 사업부)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

Keywords