Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.815-816
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Step Height Measurement Using Two Wavelength High Speed Phase Shifting Interferometry

두 파장 고속 위상천이간섭계를 이용한 단차 측정

Jang, R. (KAIST) ;
Kim, J.W. ;
Kim, J.A. ;
Kang, C.S. ;
Kim, J.E. (KAIST) ;
Park, H.Y. (KAIST)

장로마 (한국과학기술원 물리학과) ;
김재완 (한국표준과학연구원 길이시간 센터) ;
김종안 (한국표준과학연구원 길이시간 센터) ;
강주식 (한국표준과학연구원 길이시간 센터) ;
김재은 (한국과학기술원 물리학과) ;
박해용 (한국과학기술원 물리학과)

Published : 2010.05.26

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Abstract

Keywords

Phase shifting interferometry