Linear Dimension Measuring System using Laser Interferometers

레이저 간섭계를 이용한 선형 치수 측정 장치

  • 김종안 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이시간센터) ;
  • 김재완 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이시간센터) ;
  • 강주식 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이시간센터) ;
  • 진종한 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이시간센터) ;
  • 엄태봉 (한국표준과학연구원 기반표준부 길이시간센터)
  • Published : 2010.05.26