Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.429-430
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Analysis on E-beam Trajectory according to Electro-Static Lens Structure for E-Beam System

소형 전자빔용 정전렌즈 구조에 따른 전자빔 경로 분석

  • 강은구 (한국생산기술연구원, 디지털협업지원센터) ;
  • 김진석 (한국생산기술연구원, 디지털협업지원센터) ;
  • 최동영 (한국생산기술연구원, 디지털협업지원센터) ;
  • 이석우 (한국생산기술연구원, 디지털협업지원센터)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

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