Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.159-160
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A study on mechanism of nanostructure fabrication using Ga ion implantation

갈륨 이온 주입을 이용한 나노 구조물 제작의 메카니즘 연구

한진 (연세대학교 기계공학부) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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