한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.155-156
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
노광량 변조를 이용한 3차원 나노 구조물 제작
The Fabrication of 3D Nano-Structures using Dose Modulation
- 발행 : 2010.05.26