Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2010.05a
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- Pages.155-156
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
The Fabrication of 3D Nano-Structures using Dose Modulation
노광량 변조를 이용한 3차원 나노 구조물 제작
- Published : 2010.05.26