Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2010.06a
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- Pages.374-374
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- 2010
Feasibility as radiation detectors of Flexible ITO film fabricated by roll-to-roll sputtering
롤-투-롤 스퍼터링으로 제작된 Flexible ITO Film의 방사선검출기 적용가능성 연구
- Kim, Sung-Hun (Inje Univ. Biomedical Engineering) ;
- Lee, S.H. (Inje Univ. Dept of image & science) ;
- Jeon, S.P. (Inje Univ. Dept of image & science) ;
- Park, G.U. (Inje Univ. Dept of image & science) ;
- Heo, E.S. (Inje Univ. Dept of image & science) ;
- Sung, Han-Kyu (RENO-FEC Inc.) ;
- Park, J.G. (International Univ of korea) ;
- Nam, Sang-Hee (Inje Univ. Medical image research center)
- 김성헌 (인제대학교 의용공학과) ;
- 이상훈 (인제대학교 의료영상과학대학원) ;
- 전승표 (인제대학교 의료영상과학대학원) ;
- 박근우 (인제대학교 의료영상과학대학원) ;
- 허은실 (인제대학교 의료영상과학대학원) ;
- 성한규 ((주)리노펙) ;
- 박지군 (한국국제대학교) ;
- 남상희 (인제대학교 의료영상연구소)
- Published : 2010.06.16
Abstract
본 연구는 Roll-to-Roll Sputtering 장비를 사용하여 제작된 Flexible ITO electrode 필름의 방사선 검출기로의 적용가능성을 알아보기 위해 기존의 Glass ITO electrode의 전기적 특성을 비교 평가하였다. 본 연구는 Flexible ITO electrode와 Glass ITO electrode을 하부전극으로 형성하고, 최근에 X-ray 변환체로 활발히 연구되고 있는 Powder 형태의 반도체물질인 HgI2 와 PbI2를 Binder와 일정한 비율로 혼합하여 3-Rolls-Miller를 사용하여 Powder를 일정한 미세크기로 만들고, 대면적 제작이 용이한 Screen-Printing method을 이용하여 시편을 제작하였다. 제작된 필름은 하부전극의 종류에 따른 X-ray 입사 후의 전기적신호의 차이를 측정하고, HgI2와 PbI2 중 Flexible ITO electrode와 더욱 효율적으로 반응하여 기존의 Glass ITO electrode를 대체할 수 있는 전극을 발견하여 진단용 의료영상의 왜곡 현상을 제거할 수 있는 Flexible 방사선 검출기의 제작의 초석을 제공하는 연구를 목적으로 한다. SEM(Scanning Electron Microscope) 통하여 반도체 물질의 결정구조와 크기를 알아보았고, 하부 전극의 종류에 따른 전기적 신호검출을 위해 제작된 필름의 암전류(Dark current) 와 민감도(Sensitivity)를 측정한 후, SNR (Signal -to- Noise)을 계산하여 평가하였다.
Keywords
- Roll-to-Roll Sputtering System;
- Flexible ITO Film;
- Flat Panel Detector;
- HgI2;
- PbI2;
- Screen Printing Method