Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Improve the sintering property of copper inks.

구리 잉크의 소성 특성 향상

  • Song, Young-Ah (Imaging Electronic Team(Materials), Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics Co. LTD.) ;
  • Kim, Dong-Hun (Imaging Electronic Team(Materials), Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics Co. LTD.) ;
  • Kim, Sung-Jin (Imaging Electronic Team(Materials), Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics Co. LTD.)
  • 송영아 (삼성전기 중앙연구소 IE Team(materials)) ;
  • 김동훈 (삼성전기 중앙연구소 IE Team(materials)) ;
  • 김성진 (삼성전기 중앙연구소 IE Team(materials))
  • Published : 2010.06.16
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Abstract

잉크젯용 저온 Cu ink의 소성 특성을 향상 시키기 위해 소성 분위기롤 조절 하였다. 일반적으로 Cu는 산화가 잘되는 물질로 환원 분위기에서 소성이 이루어져야만 하기 때문에 acid, alcohol, aldehyde, ether와 같은 환원제를 소성시 사용하였다. 또한 1종의 환원제가 아닌 2종의 환원제롤 일정 비율로 섞음으로써 환원력를 조절하여 소성 품질을 향상 시킬 수 있었으며, 이러한 환원 분위기 조절을 통하여 300도 이하 저온에서 소성이 가능하였다. 또한 optical microscopy와 field emission scanning electron microscopy를 통해 막 품질과 미세조직의 치밀도를 확인하였고 배선 재료로써의 적용을 위해 resistance를 측정 비교하였다.

Keywords