한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
- /
- Pages.329-329
- /
- 2010
진공 장비용 코팅부품의 내플라즈마 특성 평가 방법
- 노승완 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 이창희 (혜전대학) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 김진태 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터)
- No, Seung-Wan ;
- Sin, Jae-Su ;
- Lee, Chang-Hui ;
- Gang, Sang-U ;
- Kim, Jin-Tae ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Yun, Ju-Yeong
- 발행 : 2010.02.17
초록
반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(Anodizing), 플라즈마 용사법(Plasma spray) 등을 사용하여
키워드