한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- Pages.221-221
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- 2010
RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 니켈 산화물 박막의 비저항 조절연구
- 김영은 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
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노영수
(한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
- 박동희 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
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이전국
(한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
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오영제
(한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ;
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김태환
(한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
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최원국
(한국과학기술연구원 광.전자 재료센터)
- Kim, Yeong-Eun ;
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No, Yeong-Su
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- Park, Dong-Hui ;
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Lee, Jeon-Guk
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O, Yeong-Je
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Kim, Tae-Hwan
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Choe, Won-Guk
- 발행 : 2010.02.17
초록
NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법로 glass 기판 위에 NiO 온도를 R.T(room temperature)~
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