한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
- /
- Pages.143-143
- /
- 2010
LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석
- 발행 : 2010.02.17
초록
다결정 실리콘 (Poly-Si)은 LPCVD를 이용하여
키워드
다결정 실리콘 (Poly-Si)은 LPCVD를 이용하여