한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- Pages.138-138
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- 2010
플렉서블 디스플레이용 가스 차단막으로 실리콘 혼합 박막의 특성
- 정찬수 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 류성원 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
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배강
(대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 박용진 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
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홍재석
((주)씨티씨) ;
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김봉환
(대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
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김화민
(대구가톨릭대학교 전자공학과)
- Jeong, Chan-Su ;
- Ryu, Seong-Won ;
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Bae, Gang
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- Park, Yong-Jin ;
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Hong, Jae-Seok
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Kim, Bong-Hwan
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Kim, Hwa-Min
- 발행 : 2010.02.17
초록
플렉서블 디스플레이에 사용되고 있는 기판은 광학적 투과율이 우수하고 휘어지는 폴리머 기판이 많이 활용되고 있으나 대기중의 수분 및 산소와 같은 가스성분들이 기판을 통해 침투하여 디스플레이의 수명을 감소시킨다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 투명하면서 절연특성이 뛰어나고 수분투과 방지 특성이 뛰어난 실리콘 화합물을 기반으로 하는 가스차단막의 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 실험에서는 기존의 스퍼터링 장치에 비해 저온공정이면서 구조적으로 뛰어난 박막특성을 얻을 수 있는 대향타겟식 스퍼터링(Facing Targets System, FTS)법을 이용하여 PEN기판 위에
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