한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- 2010
$Al_2O_3$ -PTFE Composite Thick Films Using Aerosol Deposition and Calculation of $Al_2O_3$ Contents
- 발행 : 2010.02.17
초록
최근 세라믹스의 고온소결과정 없이 상온 후막제조가 가능한 에어로졸 데포지션법이 개발되어 이를 응용한 다양한 연구들이 진행되고 있다. 본 연구에서는 차세대 3차원 초고밀도 집적용연성(flexible)기판재료로서
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