한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
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- Pages.102.1-102.1
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- 2010
반응성열CVD를 이용한 고효율 박막태양전지용 게르마늄박막의 저온에피성장
Low-temperature growth of epi-Ge thin films by Reactive thermal CVD
- 발행 : 2010.06.17
초록
고효율 멀티정션박막태양전지의 바텀셀 적용을 목적으로, 반응성CVD(Reactive thermal CVD)기술을 이용,
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