한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
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- Pages.63.2-63.2
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- 2010
삼중접합 실리콘 박막 태양전지 고효율화를 위한 a-$SiO_x$ 상부전지 특성 연구
- 이지은 (한국에너지기술연구원) ;
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조준식
(한국에너지기술연구원) ;
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박상현
(한국에너지기술연구원) ;
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윤경훈
(한국에너지기술연구원) ;
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송진수
(한국에너지기술연구원) ;
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김동환
(고려대학교) ;
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이정철
(한국에너지기술연구원)
- Lee, JiEun ;
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Jo, Jun Sik
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Park, Sang Hyun
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Yoon, Kyung Hoon
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Song, Jinsoo
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Kim, Dong Hwan
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Lee, Jeong Chul
- 발행 : 2010.06.17
초록
삼중접합 태양전지에 상부전지로 이용되는 a-SiO:H 태양전지는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition)을 이용하여 증착하였다. i a-SiO:H는