스퍼터링를 이용한 주석 박막의 형상제어

  • 양지훈 (포항산업과학연구원, 센서.시스템연구실) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원, 센서.시스템연구실)
  • 발행 : 2009.02.11