고속 증착에 의한 알루미나 기판에의 구리 후막제조 및 특성

  • 정재인 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터) ;
  • 조성만 ((주)씨에이치테크)
  • 발행 : 2009.02.11