PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구

• 공대영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 권태영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 박형식 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 장경수 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 정성욱 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 최병덕 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
• 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부)

• Gong, Dae-Yeong ;
• Gwon, Tae-Yeong ;
• Park, Hyeong-Sik ;
• Jang, Gyeong-Su ;
• Jeong, Seong-Uk ;
• Choe, Byeong-Deok ;
• Lee, Jun-Sin

• 발행 : 2009.08.19

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