한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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- Pages.290-290
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- 2009
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
- 공대영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 권태영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
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박형식
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
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장경수
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
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정성욱
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
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최병덕
(성균관대학교 정보통신공학부) ;
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이준신
(성균관대학교 정보통신공학부)
- Gong, Dae-Yeong ;
- Gwon, Tae-Yeong ;
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Park, Hyeong-Sik
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Jang, Gyeong-Su
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Jeong, Seong-Uk
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Choe, Byeong-Deok
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Lee, Jun-Sin
- 발행 : 2009.08.19