Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
- /
- Pages.291-291
- /
- 2009
PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구
- Gong, Dae-Yeong ;
- Gwon, Tae-Yeong ;
- Park, Hyeong-Sik ;
- Jang, Gyeong-Su ;
- Jeong, Seong-Uk ;
- Choe, Byeong-Deok ;
- Lee, Jun-Sin
- 공대영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 권태영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 박형식 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 장경수 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 정성욱 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 최병덕 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords