Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.290-290
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- 2009
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
- Gong, Dae-Yeong ;
- Gwon, Tae-Yeong ;
- Park, Hyeong-Sik ;
- Jang, Gyeong-Su ;
- Jeong, Seong-Uk ;
- Choe, Byeong-Deok ;
- Lee, Jun-Sin
- 공대영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 권태영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 박형식 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 장경수 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 정성욱 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 최병덕 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords