비휘발성 메모리 소자를 위한 $Al_2O_3/La_2O_3/SiO_2$ 다층 유전체 박막의 전기적 특성에 관한 연구

• 차승용 (연세대학교 신소재공학과) ;
• 김효준 (연세대학교 신소재공학과) ;
• 최두진 (연세대학교 신소재공학과)

• Cha, Seung-Yong ;
• Kim, Hyo-Jun ;
• Choe, Du-Jin

• 발행 : 2009.08.19

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