Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Al-Oxide 게면간의 Thermal/Mechanical stress mismatch에 의해 기인된 Morphological Defect 제거를 위한 HDP gap-fill 공정 최적화에 대한 연구

  • 서한재 (삼성전자 공과대학교(SSIT)) ;
  • 김호준 (삼성전자 메모리사업부 TC기술팀) ;
  • 송재원 (삼성전자 메모리사업부 TC기술팀) ;
  • 김광년 (삼성전자 메모리사업부 TC기술팀) ;
  • 박종왕 (삼성전자 메모리사업부 TC기술팀)
  • Published : 2009.08.19
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