한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.37-40
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- 2009
APCVD법으로 성막된 SnO2:F 박막의 열적 특성 연구
A Study on Thermo-properties of Fluorine Doped Tin Oxide Thin Film by APCVD Technique
- 김유승 (홍익대학교) ;
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옥윤덕
(홍익대학교) ;
- 김민경 (홍익대학교) ;
- 이보람 (홍익대학교) ;
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김병국
(비아트론(주)) ;
- 이정민 (비아트론(주)) ;
- 김훈 ((주)비아트론) ;
- 김형준 (비아트론(주))
- Kim, Yu-Seung ;
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Ok, Yun-Deok
;
- Kim, Min-Koung ;
- Yi, Bo-Ram ;
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Kim, Byung-Kuk
;
- Lee, Jung-Min ;
- Kim, Hoon ;
- Kim, Hyung-Jun
- 발행 : 2009.06.25
초록
불소가 도핑된 산화주석(SnO2:F, FTO) 박막은 다결정 전도성 세라믹으로 가시광선 영역에서 투명하기 때문에 태양전지의 전극으로 활용된다. 본 연구에서 FTO는 APCVD법으로 성막되었다. BSG기판을 사용하여