Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.501-502
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- 2009
Low loss silicon optical waveguide based on a CMOS fabrication process
상보형 금속산화 반도체 공정 기반의 저손실 실리콘 광도파로 특성분석
- Kim, Geon-Deok ;
- Lee, Hak-Sun ;
-
Lee, Sang-Sin
;
- Bae, Hui-Gyeong ;
- Im, Bu-Taek ;
- Lee, Byeong-Ju ;
- Lee, Wan-Gyu
- 김건덕 (광운대학교 전자공학과) ;
- 이학순 (광운대학교 전자공학과) ;
-
이상신
(광운대학교 전자공학과)
;
- 배희경 (나노종합팹센터 CMOS부 기술응용팀) ;
- 임부택 (나노종합팹센터 CMOS부 기술응용팀) ;
- 이병주 (나노종합팹센터 CMOS부 기술응용팀) ;
- 이완규 (나노종합팹센터 CMOS부 기술응용팀)
- Published : 2009.02.12
Abstract
Keywords