Shape variation and expectation of a microgroove for laser irradiation modes

레이저 빔의 조사 형태에 따른 마이크로 홈의 형상 변화 및 예측

  • 오광환 (레이저나노가공연구설, 광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (레이저나노가공연구설, 광주과학기술원 기전공학과)
  • Published : 2009.02.12