Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.225-226
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- 2009
Study of microprism array of optical system in maskless lithography
마스크리스 노광장치용 마이크로프리즘 어레이에 관한 연구
- Published : 2009.02.12
Abstract
본 연구에서는 마스크리스 노광장치의 두 프로젝션 광학계 사이에 있는 마이크로프리즘 어레이에 관한 연구이다. 마이크로프리즘의 원리와 종류에 대해 알아보고, 마이크로프리즘의 출사부의 모양에 따라 패턴의 모양이 변함을 확인하였다. 그리고 원하는 패턴을 만들 수 있는 마이크로프리즘을 설계하였다.
Keywords