Evaluation of spot profile scanning system for MLA

MLA 성능 평가를 위한 Spot Profile 측정 방법 연구

  • 박선정 (한국산업기술대학교 지식기반기술에너지대학원 광-나노학과) ;
  • 고주헌 (한국산업기술대학교 지식기반기술에너지대학원 광-나노학과) ;
  • 정미숙 (한국산업기술대학교 지식기반기술에너지대학원 광-나노학과)
  • Published : 2009.10.20