코어 기반의 마이크로 트랜스포머의 시뮬레이션

Simulation for a Core based micro transformer

현재 전자기기의 소형화 추세에 맞물려 수동 소자중의 하나인 트랜스포머의 소형화가 큰 이슈가 되고 있다. 본 논문에서는 실리콘 웨이퍼 위에 트랜스포머와의 절연층을 삽입 하여 기판의 에디 커런트로 오는 멤돌이 손실의 영향을 줄이고 중간 코어를 투자율이 높은 퍼멀로이로 설계하여 1차 코일과 2차 코일의 턴수의 비를 기준으로 1:1 인 트랜스포머 (3/3, 5/5, 7/7)의 인덕턴스 및 상호 인덕턴스를 시뮬레이션 하였다. 트랜스포머의 최대 크기는 $1mm\;{\times}\;1.95mm$이고 선폭과 선간 간격, post의 높이는 각각 50um 이다. 이때 삽입 손실은 10GHz에서 0.12dB의 낮은 손실 값을 나타내었다.