Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Core ICP에 의한 Edge Uniformity Control에 따른 고 균일도 Plasma Source에 관한 연구

  • 남창우 (성균관대학교 태양광시스템 공학과)
  • Published : 2009.05.27
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