한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.189-189
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- 2009
마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 증착한 비정질 Yb-doped ITO 박막의 특성
Characteristics of Amorphous ITO:Yb Films Deposited by Magnetron Co-Sputtering
- 발행 : 2009.05.27
초록
다양한 증착 조건에서 마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 유리기판위에 ITO (10wt%
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