한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.188-188
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- 2009
RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성
Characterization of In doped-ZnO films Deposited by RF Superimposed DC Magnetron Sputtering
- 발행 : 2009.05.27
초록
ZIO 박막은 RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 기판 가열 없이 상온에서 non-alkali 유리 기판 위에 증착하였다. RF/(DC+RF) 비율은 0%에서 100%까지 25% 비율로 증가시키면서 전체 파워는 80W로 유지하였다. 100%의 RF/(DC+RF) 비율에 의해 증착된 ZIO 박막에서
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