한국소음진동공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference)

한국소음진동공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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Pages.288-289
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2009
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1598-2548(pISSN)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)

권호 표지

반도체 생산 장비용 제진 시험 장치 개발

A development of a vibration control test apparatus for semiconductor manufacturing machines

김형태 (한국생산기술연구원 생산시스템연구부) ;
김철호 (한국생산기술연구원) ;
이강원 (한국생산기술연구원) ;
이규섭 (RMS 테크놀로지) ;
손성완 (RMS 테크놀로지)

Kim, H.T. ;
Kim, C.H. ;
Lee, K.W. ;
Lee, G.S. (RMS Tech.) ;
Son, S.W. (RMS Tech.)

발행 : 2009.10.29

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