Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.1029-1030
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of FTS with Feedback System for High Precision Machining System

대면적 미세 가공 시스템을 위한 피드백이 가능한 FTS 개발

최수창 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
김용우 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
김진근 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
여굉 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
이득우 (부산대학교 나노시스템공학과)

Published : 2009.06.03

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Abstract

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