Measurement of multi-axes errors between linear and rotational tables of a ultra-precision machine tools for generating micro patterns on the large surfaces

대면적 미세형상 가공기의 직선/회전 다축 오차 측정

  • 황주호 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부)
  • Published : 2009.06.03