한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

반도체 세정 공정용 Single-beam 메가소닉 시스템 설계

Design of a single-beam Megasonic system for Semiconductor Cleaning Process

  • 김현세 (한국기계연구원 에너지플랜트연구본부) ;
  • 이양래 (한국기계연구원 에너지플랜트연구본부) ;
  • 임의수 (한국기계연구원 에너지플랜트연구본부)
  • 발행 : 2009.06.03
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