한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

Command compensation filter를 이용한 scanning probe microscopy용 PZT구동 2축 나노 스캐너의 진동제어

Vibration reduction control of 2-D nano scanner with displacement amplifier mechanism driven by PZT for scanning probe microscopy (SPM)

  • 정종규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 염우섭 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 박기환 (광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2009.06.03
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