Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2009.06a
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- Pages.333-334
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- 2009
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- 2005-8446(pISSN)
A study on the Automatic Measurement Accuracy Improvement of Electron Beam
전자빔 이미지 자동형상측정 정밀도 향상 연구
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Hong, W.P.
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- Kim, S.T. ;
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Kang, E.G.
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Lee, S.W.
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Choi, H.Z.
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홍원표
(한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
- 김승태 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
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강은구
(한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
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이석우
(한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
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최헌종
(한국생산기술연구원 융합생산기술연구부)
- Published : 2009.06.03